碳化硅作為一種常見的工業磨料，嚴格講是一種半導體材料，其電學性質屬雜質導電性，電阻率在10ˉ2～1012Ω·㎝之間。其導電性能隨碳化硅晶體中引入雜質的種類和數量的不同而變化，碳化硅根據其含雜質不同，導電性能也不同。其中對碳化硅導電性影響最大的雜質是鋁，氮和硼，含鋁較多的碳化硅導電性顯著增大。碳化硅的導電性隨電場強度的增大而迅速提高，且具有非線性變化的特點。碳化硅的電阻率隨溫度的變化而改變，但在一定的溫度范圍內與金屬的電阻溫度特性剛好相反，高純度碳化硅會隨著溫度的升高而電阻率下降。